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GEM-TECH
압력센서
Pressure sensor
GTP-A SERIES
GTP-A
- 반도체 프로세스용 가스배관내 압력 측정
- Zero값의 Hard cal’ 기능 지원
- ASIC적용으로 보상기능 및 뛰어난 안정성 확보
- 완벽한 외부 노이즈 억제
- 부식성에 강한 Hastelloy Diaphragm
catalogue
GTP-A EXD
- 내압 방폭 등급으로 1종 위험 지역에서 사용 가능
- ASIC적용으로 보상기능 및 뛰어난 안정성 확보
- 국내인증(KCs)및 중국인증(NEPSI)획득
- 기존 자사제품 대비 소형화된 Size
- 완벽한 외부 노이즈 억제
- 개선된 압력 검출부로 반응시간 단축
GTP-A EXia
- 본질안전 방폭 등급으로 0종 위험 지역에서 사용 가능
- ASIC적용으로 보상기능 및 뛰어난 안정성 확보
- 국내인증(KCs)및 중국인증(NEPSI)획득
- 기존 자사제품 대비 소형화된 Size
- 완벽한 외부 노이즈 억제
- 개선된 압력 검출부로 반응시간 단축
GTP-A EXN
- 비점화 방폭 등급으로 2종 위험 지역에서 사용 가능
- ASIC적용으로 보상기능 및 뛰어난 안정성 확보
- 국내인증(KCs)및 중국인증(NEPSI)획득
- 기존 자사제품 대비 소형화된 Size
- 완벽한 외부 노이즈 억제
- 개선된 압력 검출부로 반응시간 단축
- QPS, TS 인증
GTI7
- 반도체 프로세스용 가스배관내 압력측정
- 개선된 압력 검출부로 반응시간 단축
- 손쉬운 Calibration 기능
- 전력공급 노이즈 억제
- 2개의 설정과 4개의 기능들을 가진 비교측정기
catalogue
IGS SENSOR
GTI8
- 반도체 공정용 가스압력의 모니터링
- IGS 1.125”용의 Compact한 Size
- 2개의 설정과 4개의 기능들을 가진 비교측정기
- 부식성에 강한 C-22 Diaphragm
- 소형화된 Size
- 향상된 직선성, 반복성, Zero Shift
- 온도변화율이 낮아져 장기안정성이 우수
catalogue
GTPFU
- 반도체 공정의 Intergrated Gas System용 압력센서
- ASIC적용으로 보상기능 및 뛰어난 안전성 확보
- 부식성에 강한 C-22 Diaphragm
- 완벽한 외부 노이즈 억제
- 소형화된 Size
- 향상된 직선성, 반복성, Zero Shift
- 온도변화율이 낮아져 장기안정성이 우수
catalogue
반도체용 중량계
Weight scale for semiconductors
GTL series
- 비방폭지역의 가스공급장치에 장착된Bottle의 중량측정
- 주위온도변화에도 안정적인 출력
- 외부 주파수 Noise에 강함
- AMP 일체화로 출력의 안정성 확보
- 방수기능(IP등급 : 68)
catalogue
GTLA-EXN (4cell type)
- 방폭(2종 장소)에서 Bottle 중량측정
- 비점화 방폭구조로 세이프티 베리어를 사용하지않아, 콘트롤러 내부공간 활용에 용이
- 국내인증(KTL)획득 및 중국인증(NEPSI)획득
- 비방폭용 Loadcell과 동일한 Compact Size
catalogue
GTLA-Exia(4cell type)
- 방폭(0,1,2종 장소)에서 Bottle 중량측정
- 다양한 크기 선택가능
- 국내인증(KCs)획득 및 중국인증(NEPSI)획득
- 비방폭용 Loadcell과 동일한 Compact Size
- 현장 Zero값의 Hard cal' 기능지원
catalogue
SKL series
- 비방폭 지역에서 Bottle 중량측정
- 가스실린더 무게측정에 적합
- AMP 내장타입으로 출력의 안정성 확보
- 다양한 크기 선택가능
catalogue
온도센서
Temperature sensor
GTN series
반도체 가스공급 배관내 온도센서
고객요구에 따른 온도범위 대응가능
DIN Class A로 정밀도 향상
내장된 EMI Filter로 무선 노이즈 억제
설치용이한 Compact Size
catalogue
GTN-EXN series
위험지역(2종장소)에서 반도체 가스공급 배관내 온도측정
고객요구에 따른 온도범위 대응가능
DIN Class A로 정밀도 향상
내장된 EMI Filter로 무선 노이즈 억제
설치용이한 Compact Size
catalogue
GTN-RTD-EXia series
위험지역(0,1,2종장소)에서 반도체 가스공급 배관내 온도측정.
고객요구에 따른 온도범위 대응가능
DIN Class A로 정밀도 향상
내장된 EMI Filter로 무선 노이즈 억제
설치용이한 Compact Size
catalogue
GTN-EXia series
위험지역(0,1,2종장소)에서 반도체 가스공급 배관내 온도측정.
고객요구에 따른 온도범위 대응가능
DIN Class A로 정밀도 향상
내장된 EMI Filter로 무선 노이즈 억제
설치용이한 Compact Size
catalogue